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束流強度對掃描電鏡成像質量的影響

 發布時間:2019/5/30 點擊量:1932
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詳細介紹:

通過之前的 “如何通過選擇加速電壓來提高掃描電鏡的圖像質量” 與 “樣品導電性對掃描電鏡成像的影響” 這兩篇文章,大家都了解了加速電壓與樣品導電性對圖像的成像質量有非常大的影響。

 

其實,除了加速電壓與樣品的導電性,電鏡的束流強度、圖像亮度對比度、圖像像散等都會影響掃描電鏡圖像的成像質量。今天,這篇文章將圍繞如何選擇束流強度,提高樣品的成像質量。

 

掃描電鏡的發射束流強度對圖像的信噪比和分辨率(resolution)有著決定性的影響。大束流可以提高圖像的信噪比,但是分辨率較低。小束流則正好相反,具有較高的分辨率,但信噪比較差。

 

在這里,小編需要給大家簡單科普一下分辨率與信噪比的含義,有利于大家理解后面的內容:

 

分辨率是掃描電鏡主要性能指標,對成像而言,指能分辨兩點之間的小距離(如圖1 所示)。通常來說,分辨率越高,樣品的邊緣會越鋒利。

 

圖1  分辨率定義(兩點間距離)?

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