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當臺式電鏡遇見肖特基場發射電子源

 發布時間:2019/3/7 點擊量:1479
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詳細介紹:

在2018 年之前,為何沒有看到使用肖特基場發射電子源(FEG)的臺式掃描電子顯微鏡(SEM)呢?為何在臺式掃描電鏡(SEM)中使用場發射電子源(FEG)是十分的呢?

 

當臺式掃描電鏡遇見場發射電子源

 

臺式掃描電鏡(SEM)是一個相對年輕且發展迅速的產品。其實許多應用領域并不需要使用低于1 nm 的超高分辨率掃描電鏡(SEM),10 nm 的分辨率是綽綽有余的。然而,由于材料特征點尺寸越來越小和觀測需求的增加,臺式掃描電鏡(SEM)用戶有時希望設備能夠具有更好的分辨率,并且保持測樣效率不變、操作依然簡便。

 

飛納臺式場發射掃描電鏡的誕生

 

在設計新的掃描電鏡(SEM)時會出現諸多挑戰。通常,為了獲得更好的性能,新設備的規格需要更高的要求。另一個挑戰是新系統的出現,不會影響到飛納臺式掃描電鏡(SEM)的操作簡便性??梢宰寷]有掃描電鏡(SEM)操作經驗的實驗室管理員能夠在短時間內熟練操作電鏡。那么,當飛納電鏡從CeB6電子源升級到FEG 電子源時,將面臨的挑戰是什么?

 

首先,需要分析掃描電鏡(SEM)電子源之間的差異。

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